合肥欣奕华生产车间内，工程师正在调试6代线洁净搬运机器人。

(资料图)

◤如果把战新产业拟人化，那厂房便是它的“家”，一个超级干净的地方。

今日之合肥，“芯屏汽合”战新产业布局已经广为人知，在“芯屏汽合”中，“屏”是合肥最先确立的产业，是“十年之前无中生有，十年之后世界一流”的产业。透过产线、厂房看产业，4月11日，记者走进新站高新区多家企业，探访“屏”和“芯”的诞生过程。◢

车间洁净度堪比特别洁净的手术室

京东方，在合肥已不仅是一家企业，背后更藏着一段产业情缘。

2009年，作为国内首条6代液晶面板线，总投资175亿元的京东方6代线项目在合肥新站动工，成为合肥历史上最大的工业投资项目；2011年，总投资285亿元的京东方8.5代线项目在新站开工，成为当时国内技术水平最高的一条生产线；2015年，投资400亿元的全球首条京东方第10.5代线项目在新站开工建设，成为全球半导体显示产业界单块玻璃基板面积最大的生产线。

从航拍角度看，京东方的智能工厂更像是一个四四方方的大盒子，里面“装”着全球首条最高世代线——10.5代生产线。由于产品的特殊性，整个厂房洁净度要求特别高，“生产车间的洁净度达到100级，洁净度堪比特别洁净的手术室，可以达到每立方米仅5-10个粒子的高标准。”为此，在生产过程中，技术人员入内需要穿衣戴帽“全副武装”，避免灰尘颗粒带来的污染。只露出一双眼睛的记者也有幸进入其中一睹真容，入眼的全是“大家伙”。好比永动机，这些自动化设备全年无休地保持有序运转，精准地完成玻璃基板的传输、加工、检测等生产。

不仅洁净，还很绿色。京东方旗下已量产的14条半导体显示生产线和1座智能制造工厂，全部被评为“国家级绿色工厂”，成为显示领域中国大陆首家所有量产生产线全部达到国家级绿色工厂标准的企业。以合肥京东方为例，这里通过搭建能源管理平台，采用信息化手段对能源资源使用实施精细化管控。同时，工厂屋面建设太阳能光伏板，打造绿色节能厂房。

打造拥有最高阶清洗设备的备件清洗厂

“芯”“屏”是一家，在京东方的周边，坐落着安徽首座12寸晶圆厂及多家封测企业。这其中就包括至微半导体，这是中国大陆首个立项并最先量产12英寸晶圆再生工厂，拥有最高阶再生产线，属于合肥集成电路产业布局的重要一环。

晶圆再生，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。在干净这件事上，晶圆生产也有高要求——非生产需要，一般不进入产线。清一色大型设备高速运转着，少量的工人依靠键盘保持与自动化设备的紧密“联系”。

除了晶圆再生产线，至微半导体同步打造了未来产能达120万件零部件清洗能力的备件清洗厂。

“半导体设备复杂，内含零部件达4000多个，很多关键部件需要定期维护，尤其是与晶圆直接接触的部件更是需要级别很高的保养程序。”记者了解到，设备清洗过程中，越高阶的制程设备，对清洗能力的要求就越高，甚至包括一些部件上的金属离子的个数都有着极高的要求。“产线设计时按照10纳米以下制程节点的标准来进行，采用的是半导体最高阶的清洗设备，可以有效延长零部件的使用寿命和稳定性。”

自主研发6代线洁净搬运机器人

如果说光刻机是制作芯片的关键核心设备，那么蒸镀设备就是制作OLED面板的“光刻机”。借着这次机会，记者也来到了欣奕华，该企业自主研发的OLED蒸镀封装设备入选安徽省首台套重大技术装备的目录，专家评价：“产品填补了国内该技术领域的空白，代表国内先进水平。”

制造业的魅力，有时间也可以很直观——生产车间内，工程师正在调试6代线洁净搬运机器人。它“身高”4.2米、“体重”约6吨。别看它身材硕大却很灵巧，“手臂”能在上下左右四个方向自如舞动，展开4根“手指”便能稳稳托起并牢牢吸住大小约2.8平方米、厚约0.7毫米的玻璃基板，快速平稳地抬高、降低、运送，再投放到不同的生产设备中，搬运最高速度可达2.5米/秒。

长期以来，如何将一块大型的玻璃基板在不同工艺间搬运，是显示屏生产企业颇为头疼的一件事情。高洁净度的车间环境，设备节拍时间、设备高度以及可靠性的严格要求，使得人工作业的可能性为零，而且大尺寸的玻璃基板不仅重还很脆弱，哪怕是很微弱的振动都可能让它碎裂。合肥欣奕华在国内率先实现振动抑制、先进控制、洁净机构设计等技术的突破，使得洁净搬运机器人技术达国际先进水平，极大地提高了显示面板生产效率。

合肥通客户端-合报全媒体记者乐天茵子 文/摄

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