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日前，2022年第二批安徽省首台（套）重大技术装备名单发布，合肥欣奕华智能机器股份有限公司的彩膜磁控溅射机垂直上下料装载设备入选。该设备主要应用于TFT-LCD等显示面板生产线彩膜磁控溅射镀膜（Sputter）工艺设备的上下料自动化搬运。

据了解，首台（套）重大技术装备是指经过原始创新、集成创新或引进技术消化吸收再创新，在国内率先实现原理、结构、性能等方面的重大创新，具有显著节能、节材和环保等特征，并拥有自主知识产权和自主品牌的成套或单机装备产品。目前，合肥欣奕华已有省级首台（套）产品5项。

（张敏 夏映雪 记者 黄紫燕）

关键词： 重大技术